XD770.300 系列大負(fù)載壓電納米定位臺

XD770.300 系列大負(fù)載壓電納米定位臺

壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，可集成于各 類高精密裝備，為其提供納米級運(yùn)動(dòng)控制，且應(yīng)用非常廣泛。

XD770.300 系列壓電納米定位臺為 Z 軸方向的運(yùn)動(dòng)平臺，行程可達(dá) 300μm，負(fù)載可達(dá)5kg，實(shí)現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升，為同時(shí)有大行程、 大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器，分辨率高、 響應(yīng)速度快。

產(chǎn)品特點(diǎn)

Z 向運(yùn)動(dòng)

行程達(dá) 300μm

承載達(dá) 5kg

參數(shù)可定制

可定制真空版本

典型應(yīng)用

顯微掃描

光路調(diào)整

納米操控技術(shù)

激光干涉

納米光刻

生物科技

光通信

納米測量

顯微操作

納米壓印